臭氧是一種廣譜、高效的殺菌消毒劑。臭氧比氧分子具有更多的活性氧原子臭氧。它是一種強氧化劑，在一定濃度下能迅速殺死空氣中的細菌。沒有有毒殘留物，沒有二次污染。它被稱為"清潔氧化劑和消毒劑"。它以空氣或氧氣為原料，通過高頻高壓放電產生臭氧。
通過制氧塔的變壓吸附，將空氣中的氧氣和氮氣在室溫和壓力下分離，產生高純度的氧氣，氧氣純度可達90%，然后這些氧氣通過電暈放電法進入臭氧發生器產生臭氧，這種臭氧氣體與水混合后形成臭氧水，具有殺菌消毒等多種功能。
影響臭氧發生器消毒效果的因素很多，其中重點是：
1.臭氧均勻性：在消毒空間內，必須確保所有角落和裂縫中的臭氧濃度達到消毒標準，否則消毒效果仍然很差。因此，在規劃消毒方案時，必須仔細考慮車間結構、臭氧添加方法、臭氧發生器功能等因素。
2.臭氧用量：空間消毒是指如果臭氧的數量不能達到標準值，那么空間內的臭氧濃度就不能滿足要求的規格，消毒效果必然會受到影響。在臭氧用量的核算中，有必要在運輸過程中考慮臭氧消耗、門窗泄漏等誘發因素，同時還要確保選定的臭氧發生器能夠達到預定的臭氧輸出值。
3.消毒時間：臭氧消毒滅菌雖在瞬間完成，但臭氧濃度須在一定時間內堆放在空間，如無消毒時間，亦會影響消毒效果，一般要求臭氧發生器在半小時至一小時內關閉門窗。
以上因素將在一定程度上影響臭氧發生器的消毒效果，為進一步提高設備的使用效率，用戶可對上述元素進行調整。
