臭氧是一種廣譜性、高效率的除菌消毒劑。臭氧比氧原子具備大量的活力氧分子臭氧。它是氧化劑，在一定濃度值下快速殺死空氣中的病原菌。無有害殘留物，無二次污染。以氣體和氧氣為原材料，高頻高壓充放電引起臭氧。
根據供氧塔的變壓吸附的，將空氣中的氧氣和N2在常溫和工作壓力下分離出來，造成高純的氧氣，氧氣純凈度可以達到90%，隨后這種氧氣根據電弧放電法進到臭氧發生器造成臭氧，這類臭氧汽體與水混和后產生臭氧水，具備除菌消毒等各種作用。
影響臭氧發生器消毒實際效果的要素許多，在其中主要是：
1.臭氧勻稱性：在消毒室內空間內，務必保證全部角落里和縫隙中的臭氧濃度做到消毒規范，不然消毒實際效果依然很差。因此，在整體規劃消毒計劃時，必須認真考慮生產現場結構、臭氧加方式、臭氧發生器的作用等因素。
2.臭氧使用量:室內空間消毒是指臭氧的總數不能超過指標值，室內空間內臭氧濃度不能滿足必要的規格型號，消毒的實際效果一定會受到損害。在臭氧用量的計算中，必須在物流運輸全過程中考慮到臭氧耗費、窗門泄露等引發要素。
3.消毒時間：臭氧消毒殺菌雖在一瞬間進行，但臭氧濃度須在一定時間段內堆積在室內空間，如無消毒時間，亦會危害消毒實際效果，一般規定臭氧發生器在30分鐘至一小時內關掉窗門。
